KRI 射頻離子源 RFICP 140
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕. 在離子束濺射工藝中，射頻離子源 RFICP 140 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學元件能夠完成發散和聚集離子束的任務. 標準型號的 RFICP 140 可以在離子能量為 100~1200 eV 范圍內獲得很高的離子密度. 可以輸出最大 600 mA 離子流.

KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術參數:

陽極	電感耦合等離子體 1kW & 1.8 MHz 射頻自動匹配
最大陽極功率	1kW
最大離子束流	> 500mA
電壓范圍	100-1200V
離子束動能	100-1200eV
氣體	Ar, O2, N2,其他
流量	5-40sccm
壓力	< 0.5mTorr
離子光學, 自對準	OptiBeamTM
離子束柵極	14cm Φ
柵極材質	鉬, 石墨
離子束流形狀	平行,聚焦,散射
中和器	LFN 2000 or RFN
高度	25.1 cm
直徑	24.6 cm
鎖緊安裝法蘭	12”CF

KRI 射頻離子源 RFICP 140 應用領域：
預清洗
表面改性
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項成果. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

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