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Pfeiffer 高壓質譜分析儀 HPA 220
上海伯東銷售維修德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220,可協助客戶選型并提供售后服務。質譜分析儀新款上市,適合于所有的應用特別是高壓應用。
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成:
l 四級質譜分析儀
l 手動或自動控制進樣閥門
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級泵 MVP 020-3
l 標準真空腔體
l 全量程真空計 PKR 251
l 閥門控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體:Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源:115 – 230 V AC, 50/60 Hz
可選的附加組件:
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優點:
l 此款質譜分析儀操作組裝靈活,適用各種壓力范圍
l 簡單的系統集成 模組式組裝
l 高靈敏度 多路傳輸操作
l 操作直觀 提供廣泛的應用
德國普發高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應用行業:
在一個壓力范圍內(1 x 10-7到50 hPa)進行過程分析、監控
1.真空鍍膜行業 2.半導體行業 3.光刻行業 4.冶金行業 5.真空爐 6.實驗研究
質譜分析儀 技術參數:
質量數(可選) |
1-100 amu |
1-200 amu |
1-300 amu |
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質譜分析儀 |
QMA 220 |
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前級泵 |
MVP 020-3 |
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電源線長度(可選) |
3m |
10m |
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檢測 |
C-SEM/Faraday |
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C-SEM 最小檢測極限 |
1X10-14 hPa |
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Faraday 最小檢測極限 |
5X10-12 hPa |
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壓縮空氣 |
5-7 bar |
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進氣法蘭 |
DN 40 CF-F |
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工作壓力(可選) |
1 hPa |
8hpa |
50hpa |
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四級桿直徑/長度 |
6 mm/ 100 mm |
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C-SEM 精度 |
200 A/hPa |
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Faraday 精度 |
5X10-4 A/hPa |
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電源 |
115-230 V |
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重量 |
15 kg |