ph-instruments VIM-2 高精度移動式真空傳感器
上海伯東代理德國 ph-instruments VIM-2 高精度移動式真空傳感器, 采用 SRG 旋轉轉子量規技術.
在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %. 長期穩定, 不受溫度的影響. ph-instruments VIM-2 真空規內置鋰電池, 防止突然斷電, 方便攜帶.

ph-instruments VIM-2 高精度真空傳感器優勢
自主: 物理測量方式, 不需要電離等過程
高精度測量: 在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %
長期穩定, 不受溫度的影響
內置鋰電池, 防止因突然斷電導致的損壞
方便攜帶
多種通訊方式, 可以軟件連線
真空規一體成型


ph-instruments VIM-2 高精度真空傳感器技術規格

測量原理	旋轉轉子壓力表
測量范圍	7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %； 0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1 %
長期穩定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	1.4404, 1.4034
安裝方式	水平
模擬接口	USB Type C、藍牙、15pin
數字接口	USB、藍牙、RS 232、RS 485
遠程控制	Win 7/10
工作溫度	電子元件 10 °C 至 40 °C 測量頭 10 °C 至 50 °C 傳感器管可烘烤至 150 °C 彈性體密封,450 °C 金屬密封
電源要求	18 ~28 VDC
模擬輸出	0 - 10 VDC 可配置
法蘭類型	KF 25, 8 VCR, 焊接

ph-instruments VIM-2 高精度真空傳感器應用
半導體: 離子注入 (替代離子規), 離子刻蝕 IBE, CVD, PVD, 在不打開真空室的情況下進行故障排除和安全檢查
低溫真空絕緣: 液化氣體存儲或者運輸, 真空絕緣監測, 所有導電真空絕緣應用
真空計校準系統

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