真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應(yīng)。

真空計（真空規(guī)）就是依據(jù)各種原理制作成用來測量真空狀態(tài)下壓力大小的真空傳感器。根據(jù)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)（GB7665—87），傳感器（Transducer/Sensor) 的定義是：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器是一種以一定的精確度把被測量對象轉(zhuǎn)換為與之有確定對應(yīng)關(guān)系的、便于應(yīng)用的某種物理量的測量裝置。真空計（真空規(guī)）就是以一定的精度將真空壓力轉(zhuǎn)化為有確定關(guān)系的電壓電流值的測量裝置，是傳感器的一種，在一個系統(tǒng)中的功能和溫度計，磁力計，光感計等等，沒有什么本質(zhì)的區(qū)別。

上海伯東德國普發(fā)Pfeiffer提供全套的真空測量產(chǎn)品，既有單獨(dú)測量，及時供有關(guān)人員讀取的，也有可供自動化系統(tǒng)采用的；既有測量低真空的，也有測量高真空的；既有正常環(huán)境下使用的，也有特殊環(huán)境如高輻射，腐蝕氣體等情況下使用的。

選用真空計，一般要考慮以下幾個方面：
1），信號的接受。真空計將真空壓力轉(zhuǎn)換成電信號后，可有兩種形式被系統(tǒng)接受，可以是數(shù)字信號，可以是模擬信號。根據(jù)系統(tǒng)的需要來選擇。
2），真空測量范圍。不同的真空計，量程是不一樣的，我們需要根據(jù)不同工藝的不同真空要求來選擇對應(yīng)的真空計。真空包裝用的真空計和半導(dǎo)體鍍膜用的真空計肯定是不一樣類型的產(chǎn)品。
3），使用的環(huán)境。很重要一點(diǎn)就是有無輻射，還有就是有無腐蝕，污染是否嚴(yán)重等等都需要考慮，才能選擇一款適用的真空計。
4），要求的精度。如果選用的一款真空計測出來的數(shù)據(jù)，根本不能讓你相信，精度達(dá)不到要求，那還不如不測。或者誤差超出了工藝的要求，就會給生產(chǎn)過程帶來麻煩，產(chǎn)品質(zhì)量受影響，也是得不償失的。

下面詳細(xì)介紹，Pfeiffer 德國普發(fā)為不同的使用情況提供的可供選擇的產(chǎn)品
一， 根據(jù)系統(tǒng)接口類型
1， 客戶系統(tǒng)選用通用的工業(yè)總線標(biāo)準(zhǔn)，如RS-232，RS-485，Profibus 等等，Pfeiffer 德國普發(fā)可提供數(shù)字型真空計 DigiLine^TM  系列產(chǎn)品供使用。數(shù)字型真空計采用數(shù)字信號接口，屬于通用標(biāo)準(zhǔn)接口，可與系統(tǒng)接口直接連接。具有信號穩(wěn)定，傳輸距離遠(yuǎn)的特點(diǎn)，布線經(jīng)濟(jì)方便，系統(tǒng)組織靈活多變

型號	連接尺寸 DN	測量范圍mbar		極限壓力	工作環(huán)境溫度
		最大值	最小值	bar	°C
CPT 200	DN 16 ISO-KF	2000	1	4	+5 - +50°C
PPT 200	DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F	1000	1.10-4	4	+5 - +50°C
RPT 200	DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F	1200	1. 10-4	4	+5 - +50°C
HPT 200	DN 40 ISO-KF DN 16 CF-F	1000	5. 10-10	4	+5 - +50°C
MPT 200	DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F	1000	5.10E-9	4	+5 - +50°C

Pfeiffer 同時提供通訊協(xié)議，客戶可在PC或PLC上自己編寫解碼軟件，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理或數(shù)據(jù)顯示。也可使用 Pfeiffer 提供的專用處理軟件DokuStar Plus。

2， 客戶系統(tǒng)沒有選用任何標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)總線，只是用普通的 I/O 來獲取數(shù)據(jù)，Pfeiffer可提供皮拉尼真空計 ActiveLine 系列產(chǎn)品供使用。這系列產(chǎn)品只要客戶系統(tǒng)控制部分有模擬信號通道，客戶就可以讀取到真空壓力數(shù)值的大小。Pfeiffer 提供的 ActiveLine 產(chǎn)品系列輸出的模擬信號為：0-10V的電壓，客戶系統(tǒng)得到這個信號后，根據(jù) Pfeiffer 提供的計算公式，進(jìn)行信號計算轉(zhuǎn)換，可以得到對應(yīng)的真空度。

ActiveLine 模擬信號真空計系列產(chǎn)品如下表：

產(chǎn)品類型	產(chǎn)品名稱	測量最大值	測量最小值
Active piezo transmitter	APR 2XX	55000 mbar	1E-1 mbar
Active capacitative transmitter	CMR XXX	1100 mbar	1E-5 mbar
Active Pirani transmitter	TPR 28X	1000 mbar	5E-4 mbar
Active Pirani/capacitative transmitter	PCR 260	1500 mbar	5E-4 mbar
Active cold cathode transmitter	IKR 2XX	2E-2 mbar	5E-11 mbar
Active Pirani/cold cathode transmitter	PKR 2XX	1000 mbar	5E-9 mbar
Active hot cathode transmitter	IMR 265	1000 mbar	2E-6 mbar
Active Pirani/Bayard-Alpert transmitter	PBR 260	1000 mbar	5E-10 mbar

上述兩種接口形式真空計的讀數(shù)，除了用對應(yīng)的接口被系統(tǒng)控制器PC或PLC接收外，還可以用Pfeiffer對應(yīng)的控制器連接，進(jìn)行離線式的真空數(shù)據(jù)讀取。數(shù)字型真空計DigiLine^TM 系列產(chǎn)品對應(yīng)的Pfeiffer控制器為：DPG 101，DPG 109。其中DPG 101可控制1個 DigiLine^TM真空計，顯示1個真空計的讀數(shù)，DPG 109控制9個 DigiLine^TM真空計，顯示9個真空計的讀數(shù)。ActiveLine 皮拉尼真空計系列產(chǎn)品對應(yīng)的有3種控制器：TPG 261，TPG 262，TPG 256 A，無論何種皮拉尼真空計都可以接到這3種控制器上，可自動識別，自動轉(zhuǎn)換

二， 根據(jù)測量范圍
真空壓力大小的劃分：
粗略真空 (Rough vacuum) :1000 ~ 1 (mbar) 
中度真空 (Medium vacuum): 1 ~ E-3 (mbar)       
高真空 (High vacuum): E-3 ~ E-7 (mbar)       
超高真空 (Ultra-high vacuum): < E-7 (mbar)

對高低不同的真空進(jìn)行測量，所用到的真空計類型也各不相同。如下表：

真空范圍	真空計選擇
粗略真空	應(yīng)力薄膜真空計（APR 250，APR 260，APR 265，APR 267等等）、 電容薄膜真空計（CMR 361，CMR 362，CMR 271，CMR 272等等）
中真空	電容薄膜真空計（CMR 363，CMR 364，CMR 273，CMR 274等等）、 皮拉尼（Pirani)真空計（PPT 100，TPR 280，TPR 281等等）
高真空	冷陰極離子真空計（IKR 251，IKR 261 IKR 270等等）、 熱陰極離子真空計（IMR 265，PBR 260等等）

 Pfeiffer提供從正常大氣壓1000 mbar到超高真空1E-11mbar全范圍的真空測量計，既有分段測量真空計，也有全量程真空計，可根據(jù)需要選用。
三， 根據(jù)使用環(huán)境

1，腐蝕性環(huán)境

如果所測真空對象中有酸性，堿性等腐蝕性氣體，如SO₂，NH₃，CL₂等等，選用的真空配件包括真空計，都必須是抗腐蝕的。不然會造成測量不準(zhǔn)，真空計損壞等等一系列問題。

Pfeiffer的數(shù)字型真空計DigiLine^TM系列都不防腐蝕，所以在腐蝕性環(huán)境中無法使用，只能選用皮拉尼真空計ActiveLine系列產(chǎn)品。Pfeiffer的皮拉尼真空計系列包含防腐蝕真空計，覆蓋全部真空測量范圍。如應(yīng)力（Piezo)薄膜真空計全系列，電容薄膜真空計全系列，皮拉尼（Pirani)真空計TPR 281，冷陰極離子真空計全系列，熱陰極離子真空計等等，都具有防腐蝕功能。

Pfeiffer的防腐蝕真空計，是通過使用防腐蝕探測元件，防腐蝕密封件，接口部分選用不銹鋼，來實(shí)現(xiàn)整個真空計的防腐蝕功能。

2，強(qiáng)輻射環(huán)境

對于在輻射環(huán)境中使用的真空計，Pfeiffer還提供了一個系列產(chǎn)品：模擬型真空計ModulLine。ModulLine只有探頭部分，沒有任何電子線路部分，所以適用于高輻射環(huán)境中。這類產(chǎn)品必須要和真空計控制器TPG 300一起使用，TPG 300內(nèi)的控制板是可以根據(jù)客戶的需要靈活配置的。TPG 300的輸出接口板既有工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)總線接口如RS-232，RS-485等，也有繼電器功能輸出。
3，污染嚴(yán)重的環(huán)境
對于測量對象是有粉塵和污染嚴(yán)重的情況，一個選用抗污染能力強(qiáng)的真空計，如應(yīng)力（Piezo)薄膜真空計全系列，電容薄膜真空計全系列。另一個只能在安裝位置和安裝方式上去考慮，盡量減輕污染對真空計的影響。使用過程中也需要加強(qiáng)檢查和保養(yǎng)，才能達(dá)到較好的使用效果。如對高真空和超高真空的測量，只能選用離子真空計，而離子真空計對污染和濺鍍性氣體都比較敏感，這種情況下，就只能在安裝和使用上去想辦法了。

四， 要求的精度和精密度

一款傳感器的精度和精密度，受測量原理及傳感器生產(chǎn)質(zhì)量影響，改良程度是有一定限度的。真空計的測量精度主要是受測量原理的影響，特別是高真空及超高真空的測量，受空氣成分的影響很大，甚至需要用系數(shù)來修正。Pfeiffer 系列真空計的精度如下表：

真空計類型	精度	精密度	測量范圍
應(yīng)力薄膜真空計	1-2%	-	低真空
電容薄膜真空計	0.2-0.5%	-	低中真空
皮拉尼真空計	±15%	±2%	中真空
冷陰極真空計	±30%	±5%	高真空
熱陰極真空計	15%	5%	高真空

從上表中可以看出：對低中真空的測量精度，要比對中高真空的測量精度高，其中電容薄膜真空計的精度要比壓力（Piezo)薄膜真空計的精度高一個數(shù)量級。對高真空和超高真空的測量，熱陰極真空計的精度和精密度都要比冷陰極真空計高。

上海伯東德國普發(fā)Pfeiffer提供了真空測量的全系列產(chǎn)品包括：通訊接口，測量范圍，是否防腐蝕，苛刻的使用環(huán)境，精度要求等等。根據(jù)客戶的要求，總能在Pfeiffer的產(chǎn)品中找到合適的。

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