便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 設計緊湊, 重量僅 21kg, 占用空間小, 前級泵清潔無油, 通用電壓, 滿足無任何污染工藝要求. 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產品!

便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 特性：
1. 集成無油真空系統: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列渦輪分子泵
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量僅 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標準漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設計
6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 較低的維護
7. USB 接口, 方便數據傳輸, 
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語言可選


便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 技術參數：

便攜式氦質譜檢漏儀	ASM 310
對氦氣的最小檢測漏率	真空模式 5E-13 Pa m3/s 吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式 檢漏方法 >>
無油前級泵抽速	1.7m3/h
檢測氣體	4He , 3He, H2
響應時間	<1s
對氦氣的抽氣速度	1.1 l/s
進氣法蘭	DN 25 ISO-KF
進氣口最大壓力	15 hPa
通訊接口	RS-232
工作溫度	10-40 °C
噪音水平	< 45 dB (A)
Interface	RS-232, I/O, USB
電壓	90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用電壓
最大功耗	300 VA
啟動時間	< 2 min
尺寸	350 X 254 X 415 mm
重量	21 kg

 
便攜式檢漏儀 ASM 310 耐大氣沖擊視頻:

便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 尺寸：


便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 常用配件:

吸槍	遙控器 RC 10	2輪推車	運輸箱

Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 應用：
1. 半導體, 鍍膜, 太陽能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質譜
3. 工業, 電廠, 化工
4. 系統集成

上海伯東檢漏儀客戶案例

光刻機檢漏 半導體用光刻機檢漏, 整機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負壓法檢漏. 漏率設置 5x10-11pa m3/s.
杜瓦封裝檢漏 內部集成紅外探測器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應用于火星探測項目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
超高真空系統檢漏 超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 選擇前級泵為干泵的氦質譜檢漏儀

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