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HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200 系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥, 可靠使用壽命超過1百萬次. HVA 矩形門專用于真空相關系統, 起隔絕真空壓力的作用. HVA 矩形閥外形尺寸小, 設計緊湊, 可靠應用于生產線與過渡腔室 load-lock chamber 過渡腔室 load-lock chamber 與傳輸系統handling system, 傳輸系統 handling system 與工藝腔室 process chamber 等等需要分隔真空壓力的地方.
HVA 88200 系列矩形閥產品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產生粉末,顆粒,防塵設計
3. 閥動作平穩,振動和沖擊小
4. 標準接口,或按客戶要求定制
5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 矩形閥 88200 系列技術參數
連接形式: |
標準或定制法蘭 |
---|---|
主體材料: |
鋁 |
公稱通徑: |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: |
《150℃ |
適用介質: |
水、蒸汽、空氣 |
密封形式: |
軟密封型 |
驅動方式: |
氣動 |
使用壽命: |
1000000 啟閉次數 |
HVA 矩形閥 88200 系列部件圖
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