干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G閱讀數: 1077

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G
上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G, 抽速 100 m³/h, 極限壓力 0.01 hPa, 適用于輕型到中型半導體應用, load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積以及快速熱退火等
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 特點
性能出色: 先進的螺桿設計, 鐘形懸臂結構, 榮獲專利的自平衡螺桿, 出色的運行品質, 非常適用于 load lock 腔和傳送腔, 計量, 平版印刷術, 物理氣相沉積以及快速熱退火等應用
高效: 智能變速驅動裝置, 擁有成本低, 維護少, 正常運行時間長, 直接水冷卻
結構緊湊: 密閉式設計, 直聯的罐裝電機, 集成控制面板
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 規格
技術參數 |
COBRA BC 0101 G |
額定抽速 |
100 m³/h |
極限壓力 |
0.01 hPa (mbar) |
電機額定功率 |
1.8 kW |
極限壓力時的功耗 |
1.1 kW |
電機額定轉速 |
3600 min?¹ |
噪聲級(ISO 2151) |
58 dB(A) |
耗水量 |
1.0 l/min |
重量(約) |
115 kg |
尺寸(L x W x H) |
520 x 300 x 340 mm |
進氣口 |
DN 50 KF |
排氣口 |
DN 40 KF |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 應用
沼氣處理: 升級 - 變壓吸附
輕型半導體生產
不同行業和應用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設備的公司, 更是針對不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發新項目應用的公司!
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