渦輪分子泵應(yīng)用于  OLED 鍍膜機(jī)
上海伯東某專業(yè)從事 OLED 設(shè)備制造商, 經(jīng)過伯東推薦該設(shè)備真空系統(tǒng)配置 Pfeiffer 分子泵  HiPace 700 , 雙級(jí)旋片泵 DUO 35 和美國(guó) HVA 插板閥, 成功替換此設(shè)備原先使用的日本低溫泵. 此款 OLED 設(shè)備適用于有機(jī)半導(dǎo)體照明客戶.

OLED 設(shè)備基本技術(shù)要求如下:
1.  腔體體積: 約 150 L 左右
2.  極限真空度: 1 x 10-7 mbar
3.  30 分鐘 – 1 小時(shí)內(nèi)達(dá)到 5 x 10-5 mbar
4.  Gas: Ar, O2

真空系統(tǒng)配置

	渦輪分子泵 HiPace 700 進(jìn)氣口: DN 160 CF-F 氮?dú)獬樗? 685 l/s 氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011 極限真空: 5X10-10 mbar 半導(dǎo)體 Semi S2 及 IP 54 防護(hù)等級(jí)
	雙級(jí)旋片泵 DUO 35 進(jìn)氣口: DN 40 ISO-KF 氮?dú)獬樗? 32 m3/h 極限真空: 3 X 10-3
	全量程真空計(jì) PKR 251 進(jìn)氣口:KF 25 測(cè)量范圍: 5E-9至 1000 精度: ±30%
	HVA 氣動(dòng)插板閥 進(jìn)氣口: DN 160 CF-F 極限真空: 1x10-10 mbar 供電: 24V DC

此類  OLED 鍍膜機(jī), 用加熱使材料蒸發(fā)的方法, 在襯底上沉積各種化合物, 混合物單層或多層膜. 主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn), 上海伯東 Pfeiffer HiPace 系列分子泵搭配 DuoLine 雙級(jí)旋片泵是其理想的選擇! 

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解渦輪分子泵, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                  臺(tái)灣伯東: 王小姐
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