全自動離子刻蝕機 MEL 3100
伯東公司日本原裝進口全自動離子刻蝕機 MEL 3100, 蝕刻速率 >10(nm/min), 均勻性 ≤±5%, 全自動化系統減少人工操作, 保證產品高穩定性和高質量. 減少因人工操作帶來的損失！

全自動離子刻蝕機 MEL 3100 特性
全自動化系統
清潔: 鈦用于經常暴露于離子束的零件, 以產生低粒子. 晶圓輸送盒采用空氣過濾器.
占地面積小, 方便維護
10.4英寸觸摸屏
配置德國 Pfeiffer 分子泵.


全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術規格.

型號	MEL 3100
樣品數量尺寸	3”φ-6”φ,1片
晶圓輸送盒	1個, 25 片晶圓
極限真空	8x10-5 Pa
均勻性	≤±5%
蝕刻速率	>10(nm/min) @SiO2

 

伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

若您需要進一步的了解離子束刻蝕機 IBE 詳細信息, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
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