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Dositorr SRG 高真空傳感器
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Dositorr SRG 高真空傳感器

ph-instruments Dositorr SRG 高真空傳感器
上海伯東代理德國 ph-instruments  Dositorr SRG 高真空傳感器是一種基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表技術(shù)的新型過程壓力計(jì). 與其他真空測量(熱陰極或冷陰極, 電容式壓力傳感器)相比, Dositorr SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表精度高, 長期穩(wěn)定, 不影響以任何方式測量的壓力信號(無溫度輸入 / 電離 / 采集 / 漂移等). 簡單的幾何形狀和不銹鋼旋轉(zhuǎn)球, 通過電磁力平滑移動, 適用于各種高純度氣體工藝.

ph-instruments  Dositorr SRG 高真空傳感器優(yōu)勢
自主: 物理測量方式, 不需要電離等過程
高精度測量
長期穩(wěn)定
超清潔
堅(jiān)固, 耐腐蝕
高真空測量

Dositorr SRG 高真空傳感器技術(shù)規(guī)格

測量原理

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子壓力表

測量范圍

7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)

精度

7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %

長期穩(wěn)定性

< 每年 1 % 的漂移

接液材料管/球

不銹鋼

安裝方式

水平

模擬接口

USB Type C, 藍(lán)牙, 15pin

數(shù)字接口

USB, 藍(lán)牙, RS 232, RS 485

反應(yīng)時(shí)間(快速模式)

1 秒


上海伯東德國 ph-instruments  Dositorr SRG 高真空傳感器適用于工藝中的連續(xù), 自動, 高真空測量, 并提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr:
傳感器, 測量頭和電子設(shè)備集成在一個(gè)緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規(guī)分離用于烘烤
DosiTorr 擴(kuò)展: 測量頭和電子設(shè)備分離, 便于在空間受限的設(shè)備中安裝
DosiTorr 配置: 設(shè)計(jì)用于 1:1 離子規(guī)更換配置電接口(即插即用解決方案)
ph-instruments  Dositorr SRG 高真空傳感器
Dositorr SRG 高真空傳感器應(yīng)用
替代離子規(guī): 傳統(tǒng)電離式的真空規(guī)無法使用的情況
離子注入, 干法刻蝕
在線真空監(jiān)測
液氮, 液氦高純氣體存儲

若您需要進(jìn)一步的了解 ph-instruments 高真空磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101             T: +886-3-567-9508 ext 161
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