氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體用配管配件檢漏
上海伯東客戶某專門生產(chǎn)半導(dǎo)體配管配件工程公司, 定制不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)管路, 然后對(duì)不同口徑的管路進(jìn)行焊接, 因半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻使用要求, 配管配件漏率值需要達(dá)到 <1E-9mar l/s, 因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè), 已驗(yàn)收管件是否達(dá)標(biāo). 客戶對(duì)檢漏效率要求較高, 需要在生產(chǎn)線使用且方便移動(dòng)操作并進(jìn)行快速的泄露測(cè)試, 經(jīng)過(guò)上海伯東推薦最終選擇移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 和 ASM 392!

上海伯東半導(dǎo)體用配管配件氦質(zhì)譜檢漏方法:
考慮到管路銜接長(zhǎng), 需要滿足客戶快速的檢漏要求, 上海伯東德國(guó) Pfeiffer ASM 390 針對(duì)此類應(yīng)用提供大漏模式: 定性泄漏檢測(cè)從 100 mbar 到 20 mbar 開始 (進(jìn)入測(cè)試模式之前) 此一區(qū)間即可進(jìn)行檢漏, 快速縮短檢漏時(shí)間！

檢漏配置: 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390,客制轉(zhuǎn)接頭和配套密封件一套,噴槍和配套氦氣瓶一套
檢漏方法:根據(jù)配管實(shí)際使用工況,采用檢漏儀真空模式進(jìn)行檢漏,設(shè)置漏率值 1E-9mar l/s, 首先對(duì)焊接的單個(gè)配管進(jìn)行檢漏, 配管組裝完成后, 對(duì)整個(gè)管線再次進(jìn)行檢漏. 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會(huì)出現(xiàn)聲光報(bào)警同時(shí)在屏幕上顯示當(dāng)前漏率值.

1. 將制作好的各種管件加工焊接, 然后通過(guò)波紋管連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進(jìn)行檢漏

2. 配管組裝完成后, 對(duì)整個(gè)管線再次進(jìn)行檢漏

3.測(cè)試各個(gè)管路時(shí), 可依照客戶需求將數(shù)據(jù)記錄儲(chǔ)存 (并可儲(chǔ)存至計(jì)算機(jī)內(nèi))


結(jié)論: 經(jīng)過(guò)實(shí)際測(cè)試, 無(wú)論單個(gè)管徑是 6’, 8’ 或 10’, 長(zhǎng)度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內(nèi)達(dá)到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又準(zhǔn)確, 大大提升了工作效率!

到現(xiàn)場(chǎng)配管完成后檢漏, 所有管件組裝后, 總長(zhǎng)度達(dá)幾十米, 與之前的檢漏時(shí)間, 工程花費(fèi)時(shí)間可能趨近于一天, 但選用上海伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時(shí)間上, 幾乎縮短了一倍時(shí)間！

上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	ASM 390	ASM 392
檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2
最小檢測(cè)漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對(duì)氦氣的抽速	10 l/s	25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵
前級(jí)泵抽速	35 m3/h
進(jìn)氣口最大壓力	20 mbar	20 mbar
無(wú)校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C)	2 min
進(jìn)氣口	DN 40 ISO-KF
響應(yīng)時(shí)間	< 1 s
Interface,  選配	RS-232, I/O, Ethernet
重量	125 kg	130 kg

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

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